CPFA/83CPFA系列 高精度全氟滤芯
CPFA/83CPFA系列

CPFA/83CPFA系列滤芯采用高纯PFA 440HP成型材料,全氟结构,适用于高温,强腐蚀工艺条件下的电子级化学品高精度过滤。



优点特性

  • 超高精度

    超高精度过滤:0.1、0.05、0.02µm满足半导体行业的过滤要求。

     

  • 全氟结构

    高纯PFA 440HP确保低离子析出。

     

  • 预润湿处理

    可为客户提供预润湿处理服务,减少客户使用之前的预润湿步骤,节约时间。

     

  • 优异的化学相容性

    PTFE膜材结合PFA成型材料,耐腐蚀,耐高温。适合半导体行业高温、强腐蚀性化学料液的过滤。

     

  • 出厂前完整性检测

     

  • Specifaction
  • Performance
  • Ordering Information

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工作特性


滤材PTFE
端盖/中心杆/外壳PFA
最高工作温度170℃
最大工作压差

4.0 bar/ 21

2.4 bar/80℃

金属离子溶出<1ppd
TOC析出<10ppd
Particle冲洗0.2μm颗粒<10颗/cc


流量特性


CPFA-电子-选型-cn.jpg

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