GTP系列滤芯是专为半导体特殊气体过滤而设计。 滤材选用PTFE,成型材料选用高纯PFA,可耐高温,耐氧化,高密度折叠设计保证了高通量和低压损 。
优点特性
耐高温和耐氧化
滤材选用PTFE,成型材料选用高纯PFA,能够耐受半导体制程特殊气体。
超高过滤精度
PTFE滤膜,确保绝对拦截效率,精度可达0.003μm,满足更高要求。
超大过滤面积
采用高密度折叠技术,提供了超高的过滤面积。
高通量 低压损
PTFE滤膜的天然疏水性和高孔隙率,对气体的过滤时,提供了超大的过滤通量和极低的初始压差。
100%出厂前完整性检测
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工作特性
滤材 | PTFE |
接口 / 骨架 | PFA |
最高工作温度 | 170°C |
最大工作压差 | 4.0 bar / 21°C 3.0 bar / 110°C 1.3 bar /170℃ |
详情请咨询 86-0571-87704266
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