厂务系统过滤
半导体制造过程中，厂务系统为FAB提供生产制造用洁净的工艺气体，超纯水，超净电子化学品。大批量，长时间不间断的供应，对过滤的稳定性提出了很高的要求。 科百特过滤为厂务系统过滤提供专有的过滤产品。科百特的大流量的产品，全氟耐腐蚀产品，以及高精度高效率过滤产品，为厂务系统的安全供应提供了服务。 |
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