Los contaminantes en el gas son monitoreados in situ.
Puntos de monitoreo | Valores | 0.3 μm | 0.5 μm | eg1:
| Aire limpio | 71
| 21
| Sala limpia (ambiente)
| 218287 | 67002 | Después de la filtración (filtración de aire)
| 0 | 0 | eg2:
| Gas comprimido | 13194 | 3260 | Gas comprimido (ambiente) | 521618 | 68972 | Después de la filtración (aire comprimido) | 0 | 0
|
|